Gælder for Passat brændstof common rail tryksensor 06E906051K

1. Fremgangsmåde til dannelse af en tryksensor, omfattende:

Tilvejebringelse af et halvledersubstrat, hvor et første dielektrisk mellemlagslag, et første dielektrisk mellemlagslag og et andet dielektrisk mellemlagslag er dannet på halvledersubstratet.

En nedre elektrodeplade i det første dielektriske mellemlagslag, en første gensidig elektrode placeret på det samme lag som den nedre elektrodeplade og med afstand fra hinanden.

Forbindende lag;

Dannelse af et offerlag over den nedre polære plade;

dannelse af en øvre elektrodeplade på det første mellemlags dielektriske lag, det første forbindelseslag og offerlaget;

Efter dannelse af offerlaget og før dannelse af den øvre plade, i det første sammenkoblingslag

Dannelse af en forbindelsesrille og fyldning af forbindelsesrillen med den øvre plade til elektrisk forbindelse med det første sammenkoblingslag; Eller,

Efter dannelse af den øvre elektrodeplade dannes der forbindelsesriller i den øvre elektrodeplade og det første sammenkoblingslag, som

dannelse af et ledende lag, der forbinder den øvre elektrodeplade og det første forbindelseslag i forbindelsesrillen;

Efter elektrisk forbindelse af den øvre plade og det første sammenkoblingslag, fjernelse af offerlaget for at danne et hulrum.

2. Fremgangsmåde til dannelse af en tryksensor ifølge krav 1, kendetegnet ved, at det er i det første lag

Fremgangsmåden til dannelse af offerlaget på mellemlagets dielektriske lag omfatter følgende trin:

Afsætning af et lag af offermateriale på det første dielektriske mellemlagslag;

Mønster på offermaterialelaget for at danne et offerlag.

3. Fremgangsmåde til fremstilling af tryksensoren ifølge krav 2, kendetegnet ved, at der anvendes fotolitografi og gravering.

Offermaterialelaget er mønstret ved ætsningsproces.

4. Fremgangsmåde til dannelse af en tryksensor ifølge krav 3, kendetegnet ved, at offerlaget

Materialet er amorft kulstof eller germanium.

5. Fremgangsmåde til dannelse af en tryksensor ifølge krav 4, kendetegnet ved, at offerlaget

Materialet er amorft kulstof;

Ætsningsgasser anvendt i processen med ætsning af offermaterialelaget omfatter O2, CO, N2 og Ar;

Parametrene i processen med ætsning af offermaterialelaget er: flowområdet for O2 er 18 SCCM ~ 22 SCCM, og flowhastigheden af ​​CO er 10%.

Strømningshastigheden spænder fra 90 SCCM til 110 SCCM, strømningshastigheden af ​​N2 spænder fra 90 SCCM til 110 SCCM, og strømningshastigheden af ​​Ar.

Området er 90 SCCM ~ 110 SCCM, trykområdet er 90 mtor ~ 110 mtor, og forspændingseffekten er

540w til 660w.