Gælder for Passat Fuel Common Rail Pressure Sensor 06E906051K

1. en metode til dannelse af en tryksensor, der omfatter:

Tilvejebringelse af et halvledersubstrat, hvor der dannes et første mellemlags dielektrisk lag, der dannes et første mellemlags dielektrisk lag og et andet mellemlags dielektrisk lag på halvledersubstratet.

En lavere elektrodeplade i det første mellemlags dielektriske lag, en første gensidig elektrode placeret på det samme lag som den nedre elektrodeplade og fordelt.

Tilslutning af lag;

Danner et offerlag over den nedre polære plade;

Danner en øvre elektrodeplade på det første mellemlags dielektriske lag, det første sammenkoblingslag og offerlag;

Efter dannelse af offerlag og inden man danner den øverste plade, i det første sammenkoblingslag

Danner en forbindelsesrille og fylder forbindelsesrillen med den øverste plade til elektrisk at forbinde med det første sammenkoblingslag; Eller,

Efter dannelse af den øverste elektrodeplade dannes tilslutning af riller i den øverste elektrodeplade og det første sammenkoblingslag, der

Danner et ledende lag, der forbinder den øverste elektrodeplade og det første sammenkoblingslag i forbindelsesrillen;

Efter elektrisk tilslutning af den øverste plade og det første sammenkoblingslag, fjernelse af offerlag for at danne et hulrum.

2. metoden til dannelse af en trykføler i henhold til krav 1, hvor i det første lag

Metoden til dannelse af offerlag på mellemlags dielektrisk lag omfatter følgende trin:

Deponering af et offermateriale lag på det første mellemlags dielektriske lag;

Mønster af det offermateriale lag for at danne et offerlag.

3. Fremgangsmåden til dannelse af trykføleren ifølge krav 2, hvor der anvendes fotolitografi og gravering.

Det offermateriale lag mønstres ved ætsningsproces.

4. metoden til dannelse af en trykføler i henhold til krav 3, hvor det offerlag

Materialet er amorf kulstof eller germanium.

5. Metoden til dannelse af en trykføler i henhold til krav 4, hvor det offerlag

Materialet er amorf kulstof;

Ætsningsgasser anvendt i processen med ætsning af offermaterialelaget inkluderer O2, CO, N2 og AR;

Parametrene i processen med ætsning af offermaterialelaget er: strømningsområdet for O2 er 18 SCCM ~ 22 SCCM, og strømningshastigheden for CO er 10%.

Strømningshastigheden varierer fra 90 SCCM til 110 SCCM, strømningshastigheden på N2 varierer fra 90 SCCM til 110 SCCM og strømningshastigheden for AR.

Området er 90 SCCM ~ 110 SCCM, trykområdet er 90 mTOR ~ 110 mTOR, og biasmagten er

540W ～ 660W。