Velegnet til Hitachi KM11 olietrykssensor EX200-2-3-5

Fire trykteknologier af tryksensor

1. Kapacitiv

Kapacitive tryksensorer foretrækkes normalt af et stort antal OEM professionelle applikationer. Detektering af kapacitansændringer mellem to overflader gør det muligt for disse sensorer at registrere ekstremt lave tryk- og vakuumniveauer. I vores typiske sensorkonfiguration består et kompakt hus af to tæt anbragte, parallelle og elektrisk isolerede metaloverflader, hvoraf den ene i det væsentlige er en membran, der kan bøje let under tryk. Disse fast fastgjorte overflader (eller plader) er monteret således, at bøjningen af ​​samlingen ændrer mellemrummet mellem dem (faktisk danner en variabel kondensator). Den resulterende ændring detekteres af et følsomt lineært komparatorkredsløb med (eller ASIC), som forstærker og udsender et proportionalt højniveausignal.

2.CVD type

kemisk dampaflejring (eller "CVD") fremstillingsmetode binder polysiliciumlag til membran af rustfrit stål på molekylært niveau, hvilket producerer en sensor med fremragende langtidsdriftsydelse. Almindelige batchforarbejdningsmetoder til halvlederfremstilling bruges til at skabe polysilicium-strain gauge-broer med fremragende ydeevne til en meget rimelig pris. CVD-struktur har fremragende omkostningsydelse og er den mest populære sensor i OEM-applikationer.

3. Sputtering film type

Sputtering filmaflejring (eller "film") kan skabe en sensor med maksimal kombineret linearitet, hysterese og repeterbarhed. Nøjagtigheden kan være så høj som 0,08 % af fuld skala, mens den langsigtede drift er så lav som 0,06 % af fuld skala hvert år. Ekstraordinær ydeevne af nøgleinstrumenter - vores sputterede tyndfilmssensor er en skat i trykfølingsindustrien.

4.MMS type

Disse sensorer bruger mikrobearbejdet silicium (MMS) membran til at detektere trykændringer. Siliciummembranen er isoleret fra mediet af den oliefyldte 316SS, og de reagerer i serie med procesvæskens tryk. MMS-sensoren anvender almindelig halvlederfremstillingsteknologi, som kan opnå højspændingsmodstand, god linearitet, fremragende termisk stødydeevne og stabilitet i en kompakt sensorpakke.