Velegnet til Hitachi KM11 Olietrykføler EX200-2-3-5

Fire trykteknologier af tryksensor

1. kapacitiv

Kapacitive tryksensorer favoriseres normalt af et stort antal OEM -professionelle applikationer. Detektering af kapacitansændringer mellem to overflader gør det muligt for disse sensorer at fornemme ekstremt lavt tryk og vakuumniveauer. I vores typiske sensorkonfiguration består en kompakt bolig af to tæt placerede, parallelle og elektrisk isolerede metaloverflader, hvoraf den ene i det væsentlige er en membran, der kan bøjes lidt under pres. Disse fast faste overflader (eller plader) er monteret, så bøjningen af ​​samlingen ændrer kløften mellem dem (faktisk danner en variabel kondensator). Den resulterende ændring detekteres af et følsomt lineært komparatorkredsløb med (eller ASIC), der forstærker og udsender et proportionalt højt niveau signal.

2.CVD -type

Kemisk dampaflejring (eller "CVD") fremstillingsmetodemetodbindinger polysiliconlag til rustfrit stålmembran på molekylært niveau og producerer således sensor med fremragende langvarig drift ydeevne. Almindelig batchbehandling af halvlederfremstillingsmetoder bruges til at skabe polysilicon -stammemåler broer med fremragende ydelse til en meget rimelig pris. CVD -struktur har fremragende omkostningsydelse og er den mest populære sensor i OEM -applikationer.

3. sputtering filmtype

Sputtering af filmaflejring (eller "film") kan skabe en sensor med maksimal kombineret linearitet, hysterese og gentagelighed. Nøjagtigheden kan være så høj som 0,08% af fuld skala, mens den langsigtede drift er så lav som 0,06% af fuld skala hvert år. Ekstraordinær ydeevne af nøgleinstrumenter-vores sputterede tyndfilmsensor er en skat i trykfølende industrien.

4.MMS TYPE

Disse sensorer bruger mikro-maskineret silicium (MMS) membran til at detektere trykændringer. Siliciummembranen er isoleret fra mediet med den oliefyldte 316S'er, og de reagerer i serie med procesvæsketrykket. MMS -sensor vedtager fælles halvlederfremstillingsteknologi, som kan opnå høj spændingsmodstand, god linearitet, fremragende termisk chokydelse og stabilitet i en kompakt sensorpakke.