Excavator -tryksensor er den mest anvendte sensor, det er en generel betegnelse for at detektere gas, væske, faste og andre stoffer mellem den induktive kraft energi, også inkluderer
Manometre, der måler lufttrykket over og vakuummålere, der måler lufttrykket nedenfor. Der er mange slags kraftsensor, den traditionelle målemetode er at anvende deformation og forskydning af elastiske elementer for at udtrykke vedligeholdelse af elektrisk injektionsmotor, men dens volumen er stor, klodset, og output er ikke-lineær. Med væksten af ​​mikroelektronikfærdigheder, anvendelsen af ​​halvledermaterialer piezoresistive effekt og overlegen elasticitet, er udviklingen af ​​halvlederkraftsensorer, vigtige siliciumpiezoresistive og kapacitive to, de har en lille størrelse, letvægt, høje følsomhedsfordeling, der er vidt brugt i halvlederkraftsensorer. Når en halvleder er stresset opad på en krystal, vil dens resistivitet ændre sig. Forholdet mellem ledningsresistivitetsændring og stress kaldes halvlederpiezoresistiv effekt, og den mekaniske mængde sensor lavet af denne effekt kaldes piezoresistive kraftsensor, der har to typer, den ene er sensoren lavet af halvledermålet, der er indsat på det elastiske element, der kaldes den paste piezoresistive sensor. Den anden er diffusionsmodstanden lavet af integreret kredsløbsteknologi på substratet af halvledermateriale, så belastningsmåleren og siliciumsubstratet danner den samme hele sensor, kaldet diffusionspiezoresistiv sensor. Det har egenskaberne ved høj følsomhed, høj præcision, lille størrelse, let vægt, høj arbejdsfrekvens, enkel struktur, pålidelig arbejde og lang levetid.