Den almindeligt anvendte halvledertryksensor bruger N-type siliciumwafer som substrat.For det første laves siliciumwaferen til en elastisk spændingsbærende del med en vis geometri.Ved den spændingsbærende del af siliciumwaferen fremstilles fire diffusionsmodstande af P-typen langs forskellige krystalretninger, og derefter dannes en fire-armet Wheatstone-bro med disse fire modstande.Under påvirkning af ekstern kraft bliver ændringerne af modstandsværdier til elektriske signaler.Denne wheatstone-bro med trykeffekt er hjertet i tryksensoren, som normalt kaldes en piezoresistiv bro (som vist i figur 1).Karakteristikaene for en piezoresistiv bro er som følger: ① modstandsværdierne for broens fire arme er ens (alle r0);② Den piezoresistive effekt af tilstødende arme på broen er lige i værdi og modsat i fortegn;③ Modstandstemperaturkoefficienten for broens fire arme er den samme, og de har altid samme temperatur.I fig.1, R0 er modstandsværdien uden spænding ved stuetemperatur;RT er ændringen forårsaget af temperaturkoefficienten for modstand (α), når temperaturen ændres;Υ Rδ er ændringen af ​​modstand forårsaget af belastning (ε);Broens udgangsspænding er u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (konstant strømkildebro).

Hvor I0 er konstant strømkildestrøm, og e er konstant spændingskildespænding.Udgangsspændingen fra den piezoresistive bro er direkte proportional med belastningen (ε) og har intet at gøre med RT forårsaget af temperaturkoefficienten for modstand, som i høj grad reducerer temperaturdriften af ​​sensoren.Den mest udbredte halvledertryksensor er en sensor til detektering af væsketryk.Dens hovedstruktur er en kapsel lavet af monokrystallinsk silicium (som vist i figur 2).Membranen er lavet til en kop, og bunden af ​​koppen er den del, der bærer den ydre kraft, og trykbroen er lavet på bunden af ​​koppen.Ringsøjlen er lavet af det samme siliciumenkeltkrystalmateriale, og derefter bindes membranen til piedestalen.Denne form for tryksensor har fordelene ved høj følsomhed, lille volumen og soliditet og er blevet meget brugt i luftfart, rumnavigation, automatiseringsinstrumenter og medicinske instrumenter.